光氧和等離子廢氣治理都是目前比較常見的工業廢氣處理技術，但它們在原理、應用范圍和處理效果等方面存在一定的差異。

光氧廢氣治理是利用紫外光和催化劑的作用，將廢氣中的有害物質氧化分解成無害的物質，從而達到凈化廢氣的目的。而等離子廢氣治理則是利用高電壓電場產生的等離子體，將廢氣中的有害物質直接分解成無害的物質，從而達到凈化廢氣的目的。

光氧廢氣治理適用于低濃度的廢氣處理，而等離子廢氣治理適用于高濃度的廢氣處理。因為光氧廢氣治理需要催化劑的參與，催化劑的活性和反應時間都會受到廢氣濃度的影響，所以在高濃度廢氣處理時，光氧廢氣治理的效率會受到限制。而等離子廢氣治理則不受廢氣濃度的影響，因此在高濃度廢氣處理時，等離子廢氣治理的效率更高。

光氧廢氣治理適用于有機物質的處理，如揮發性有機物（VOCs）、甲醛等，而等離子廢氣治理則適用于無機物質的處理，如硫化氫、氨氣等。因為等離子體的產生需要高電壓電場的參與，而有機物質的分子結構相對復雜，需要較長的時間和較高的能量才能被分解。而無機物質的分子結構相對簡單，因此等離子體可以在較短的時間內將其分解。

綜上所述，光氧和等離子廢氣治理在原理、應用范圍和處理效果等方面存在一定的差異，需要根據具體的廢氣類型和處理效果要求選擇合適的技術。同時，在廢氣治理過程中，還需要注意廢氣治理設備的運行維護和廢氣排放標準的執行，以確保廢氣治理的效果和環境保護的要求。